IGS金屬隔膜閥應用于IGS的高純度金屬隔膜閥，采用二次熔煉的SUS316L作為閥體材質(zhì)，有多種接口（C-seal和W-seal）可供選擇。
IGS金屬隔膜閥優(yōu)勢：
• 適合高純度工藝供氣生產(chǎn)線
• 閥體材質(zhì)選用二次熔煉的SUS316L，安全可靠
• W-seal和C-seal 可供選擇
IGS金屬隔膜閥技術參數(shù)：
尺寸 | SEMI F83-0304 | SEMI F84-0304 | SEMI F86-0304 |
Cv value( Cv值) | 0.24 | 0.24 | 0.27 |
大使用壓力 | 1.0MPa(G) | ||
使用溫度范圍 | -10～80℃ | ||
外部泄露 | ≦3x10-12 Pa?m3/sec Helium | ||
閥座泄露 | ≦3x10-10 Pa?m3/sec Helium | ||
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